진공 밸브 제조업체 SS304 316L 스테인레스 스틸
| 앵글 밸브 | 벨로우즈 앵글 밸브로 수동 작동 |
| Z-인라인 밸브 | 공압 작동 앵글 밸브 |
| Y-인라인 밸브 | Y-인라인 밸브 |
| 볼 밸브 | 2단 밸브 |
| 게이트 밸브 | UHV 게이트 밸브(벨로우즈 포함) |
특징
* 긴 수명 작동.
* 화학 물질 및 미립자 오염이 있는 반도체 생산 시스템에 이르는 응용 분야에서 안정적으로 작동합니다.
* 스테인레스 스틸 용접 벨로우즈 씰.
* 간헐적으로 200ºC까지 베이킹 가능, Viton 씰 보닛.
* 수동 및 전기 공압 작동 또는 안전 장치 작동자
* 컴팩트한 사이즈.
* 간단하고 빠른 유지 보수.
* 수동 오버라이드가 있는 솔레노이드 밸브를 통한 간단한 제어.
명세서
| *신체 | 304 SS(요청 시 다른 재료 사용 가능) |
| *아가 | 304 SS(요청 시 다른 재료 사용 가능) |
| *풀무 | 용접 AM-350(옵션) |
| *솔레노이드 | 옵션 |
| *위치 표시기 | 옵션 |
| *밀봉하다 | 바이톤 오링 |
| *누설률 | 2x10-9 std.cc./초 |
| * 압력 범위 | 1x10-9 torr ~ 760 torr Viton 씰 보닛 |
| *개봉 전 최대△압력 | 1.2 바 |
| * 작동 공기 압력 | 4~6.5kg/cm2 |
| *운행까지의 주기 | 16~50~500,000 |
| *(전체 오리피스 개방) | 63~150~250,000 |
| 200에서 더 큼~응용 프로그램에 따라 다름 | |
| *베이크아웃 제한 | 150ºC Viton 씰 보닛 |
| 더 크거나 특별한 크기는 유효합니다 |
지원서
*KF, ISO 및 ANSI 포트 모델은 진공 압력이 약 10인 고진공 응용 분야용으로 설계되었습니다.-9torr 및 베이크아웃 온도는 150ºC를 초과하지 않습니다.
*CF 포트 모델은 진공 압력이 약 10인 초고진공 애플리케이션용으로 설계되었습니다.-10torr 및 베이크아웃 온도는 200ºC를 초과하지 않습니다.또한 보다 영구적인 밀봉이 필요한 응용 분야에도 일반적으로 사용됩니다.
Shanteng 진공은 반도체 산업에 진공 솔루션을 공급하고 있습니다.
우리는 KF, CF, ISO ASA 플랜지, 피팅을 포함한 초고진공 부품 액세서리, 하드웨어, 구성 요소를 제공합니다.또한 우리는 진공 볼 밸브, 게이트 밸브 및 앵글 밸브, 진공 챔버를 만듭니다.우리는 프로세스를보다 효율적으로 만들고 리드 타임을 줄이며 고객의 비용을 절약하고 있습니다.
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